Сепаратор S100

Установка S100 предназначена для скрайбирования и разделения алмазным наконечником очень хрупких кристаллов, из таких материалов, как GaAs и Si.

ВВ установке используется последовательность надрез – разлом, это позволяет избежать загрязнения или повреждения кристалла. Во время скрайбирования для фиксации пластины используется майларовая пленка, после фиксации происходит разламывание пластины на кристаллы с помощью линейного ножа. Пленка защищает кристалл от загрязнения и механических повреждений. Все параметры процесса вводятся оператором. Установка проста в эксплуатации, обладает высокой жесткостью конструкции, что обеспечивает отсутствие вибрации в процессе работы.

Отличительные особенности:

• Регулируемая сила резки
• Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
• 17-дюймовый ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
• Автоматический режим или контроль оператором

Области применения:

• Скрайбирование полупроводниковых пластин и подложек
• Разделение пластин на кристаллы

Технические характеристики

Рабочая головка:

• Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
• Регулируемая сила резки 3-100 гр, постоянный вес
• Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
• Смещение инструмента с помощью перекрестия
• Точность +/- 5 мкм

Рабочий стол:

• Держатель пластин диаметром до 100 мм
• Размеры кристаллов: от 200×200 мкм до 10х10 мм
• Минимальная толщина подложек 80 мкм
• Ручное вращение на 90º
• Разрешение перемещения по X, Y 1 мкм
• Управление движением при помощи джойстика
• Точность по оси X +/- 5 мкм

Видеосистема:

• Оптическая система и уровень увеличения зависят от применения
• Совмещение: программируемая область/вручную
• 17-дюймовый ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
• Генератор перекрестия
• Светодиодная подсветка

Модуль разлома:

• Автоматический режим или контроль оператором
• Режим разлома: верхняя сторона защищается пленкой, разлом выполняется снизу
• Майларовая  пленка легко снимается, необходима для защиты поверхности от загрязнения
• Несколько видов майларовой пленки в зависимости от применения

Требования к подключению:

• Электропитание 220 В, 0.5 КВт
• Пневмопитание 5 бар
• Вакуум 60%

Габаритные размеры и вес:

• Габаритные размеры 450x700x500 мм
• Вес 80 кг