Установка модели S200 предназначена для скрайбирования и разделения алмазным инструментом полупроводниковых пластин диаметром до 8”.
Установка имеет дружественный интерфейс, проста в эксплуатации даже для начинающих пользователей. Вертикальное позиционирование производится с помощью видеосистемы с электронным перекрестьем. Система обладает высокой жесткостью конструкции, что обеспечивает отсутствие вибрации в процессе работы.
Отличительные особенности:
Программирование длины резки
Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
Области применения:
Скрайбирование полупроводниковых пластин и подложек
Разделение пластин на кристаллы
Технические характеристики
Рабочая головка:
Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
Регулируемая сила скрайбирования от 10 до 300 г
Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
Смещение инструмента с помощью перекрестия
Точность +/- 5 мкм
Рабочий стол:
Держатель подложек до 8”
Вакуумный зажим
Адаптер для рамок и пялец с пластинами
Моторизированное вращение: постоянное или под определенным углом
Настройка положения вращения по двум точкам
Разрешение вращения: 500 000 шагов/один круг
Разрешение перемещения 1 мкм, точность перемещения 5 мкм
Управление движением при помощи джойстика
Скорость скрайбирования 1-100 мм/сек
Программирование длины резки
Видеосистема:
Оптическая система и уровень увеличения зависят от применения
Поле обзора стандартное 1 мм
ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
